事例一覧
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石英・SiCセラミックスへのマルチ総形研削溝入れ加工
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長寿命PCDドリルによるシリコンへの小径・多数穴の連続穴加工
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SiCウェーハ平面研削の【粗加工】におけるホイールの長寿命化
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SiCなどの化合物半導体ウェーハ用面取りホイールの長寿命化
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サファイアウェーハ用面取りホイールの長寿命化
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シリコンウェーハ向け仕上げ用ノッチホイールの長寿命化
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窒化アルミニウムなどのザグリ加工で、安定した研削性能を実現
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超音波援用研削加工によりSiCなどの難削材の高効率加工を実現
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アルミナや窒化ケイ素など高硬度難削材料の高能率加工を実現
