サファイアウェーハ用面取りホイールの長寿命化

【サファイアウェーハの加工の課題】

世界的な省電力化の流れの中で、LED の普及は目覚ましく、またマイクロLED・ミニLEDなど新デバイスも登場し、その基板の主流であるサファイアウェーハのコストダウンが求められています。サファイアウェーハの加工コスト低減の１つには、ウェーハの面取り加工においてホイールのドレスインターバルを拡げ、ホイールの長寿命化が課題です。

【メタルボンドホイールで解決】

シリコンウェーハ面取り用のメタルボンドの課題であった目替わり作用に着目。硬い材料に砥粒が負けてしまう「目つぶれ」、その砥粒をいつまでも保持することによりワークの研削屑が砥面に付着する「目詰まり」を砥粒の種類、ボンドの硬度の組み合わせを最適化することで解決しました。